Sputtering húðun Þegar háorku agnir sprengja fast yfirborðið geta agnirnar á fasta yfirborðinu fengið orku og flúið yfirborðið til að setjast á undirlagið.Sputtering fyrirbæri byrjaði að nota í húðunartækni árið 1870 og smám saman notað í iðnaðarframleiðslu eftir 1930 vegna aukins útfellingarhraða.Tveggja póla sputtering búnaðurinn sem almennt er notaður er sýndur á mynd 3 [Skýringarmynd af tveggja póla sputtering í lofttæmi].Venjulega er efnið sem á að setja í plötu - skotmark sem er fest á bakskautið.Undirlagið er sett á forskautið sem snýr að markyfirborðinu, í nokkra sentímetra fjarlægð frá skotmarkinu.Eftir að kerfinu hefur verið dælt í hátt lofttæmi er það fyllt með 10~1 Pa gasi (venjulega argon) og nokkur þúsund volta spenna er beitt á milli bakskautsins og rafskautsins og glóafhleðsla myndast á milli rafskautanna tveggja. .Jákvæðu jónirnar sem myndast við útskriftina fljúga að bakskautinu undir áhrifum rafsviðs og rekast á frumeindirnar á markyfirborðinu.Markatómin sem sleppa frá markyfirborðinu vegna árekstursins eru kölluð sputtering atóm og orka þeirra er á bilinu 1 til tugir rafeindavolta.Sputtered atómin eru sett á yfirborð undirlagsins til að mynda filmu.Ólíkt uppgufunarhúð er sputterhúðun ekki takmörkuð af bræðslumarki filmuefnisins og getur sprautað eldföst efni eins og W, Ta, C, Mo, WC, TiC, osfrv. Sputtering efnasambandsfilmuna er hægt að sputtera með hvarfvirkri sputtering. aðferð, það er hvarfgasið (O, N, HS, CH, osfrv.) er
bætt við Ar gasið, og hvarfgasið og jónir þess hvarfast við markatómið eða sputtered atómið til að mynda efnasamband (eins og oxíð, köfnunarefni) efnasambönd o.s.frv.) og sett á undirlagið.Hægt er að nota hátíðni sputtering aðferð til að setja einangrunarfilmuna.Undirlagið er fest á jarðtengda rafskautið og einangrunarmarkið er fest á gagnstæða rafskautið.Einn endinn á hátíðni aflgjafanum er jarðtengdur og annar endinn er tengdur við rafskaut sem er búið einangrunarmarkmiði í gegnum samsvarandi net og DC-blokkandi þétta.Eftir að kveikt hefur verið á hátíðni aflgjafanum breytir hátíðnispennan stöðugt um pólun sína.Rafeindirnar og jákvæðu jónirnar í blóðvökvanum ná einangrunarmarkmiðinu í jákvæðu hálfhringnum og neikvæða hálfhring spennunnar, í sömu röð.Þar sem rafeindahreyfanleiki er meiri en jákvæðu jónanna er yfirborð einangrunarmarksins neikvætt hlaðið.Þegar kviku jafnvægi er náð er markið á neikvæðum hlutdrægni þannig að jákvæðu jónirnar sem sputtera á markið halda áfram.Notkun segulstrauðs getur aukið útfellingarhraðann um næstum stærðargráðu samanborið við sputtering sem ekki er segulmagnaðir.
Birtingartími: 31. júlí 2021