Tómarúmhúðun lengir endingartíma rekstrarefna í hálfleiðaraiðnaðinum og dregur úr tíma í hólfinu.Húðunarefni eru allt frá bræddum kísil til yttría-stöðugaðs sirkon, og húðunin er ljóstær og efnafræðilega óvirk.Allt þetta þýðir minni eignarkostnað með því að samstilla viðhaldslotur.
Birtingartími: 16-jún-2022